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为什么要有石墨坩埚?

作者: 发布时间:2022-11-23 11:18:15

该领域的组成部分,如加热器,三瓣坩埚,石墨支架和热屏蔽,是由石墨。在生产过程中,经常会遇到加热设备损坏的现象。那么石墨设备损坏的原因有哪些呢?应该选择什么方法来延长石墨设备的寿命?石墨设备的损坏主要是人为和变质造成的。只要加强管理,强化员工的防范意识,就可以把损失降到低点。这里主要讨论的是退化。我们先来了解一下石墨的相关特性,

1.耐高温。石墨熔点高,真空下3850度,低压下2200度。与一般材料不同的是,当温度升高时,石墨不仅没有软化,反而强度增加,2500度时抗拉强度翻倍。

2.特殊抗热震性。石墨的热膨胀是各向异性的,所以微膨胀系数不大。在温度突变的情况下,石墨的体积变化不大。再加上其优异的导热功能,石墨的抗热震性非常优异。如上所述,石墨部件应该能够在高温下长时间稳定工作。

  一般情况下,花瓣坩埚与保温罩、加热器等其他石墨设备相比,材质相同,生产厂家相同,工作环境相同。为什么使用寿命比保温罩和取暖器短很多?三瓣坩埚开裂的主要原因来自应时坩埚。1.由于熔融硅的密度高于固体硅,在冷却过程中坩埚的底部材料会将应时坩埚打碎,而应时坩埚是贴在三瓣坩埚上的。当应时坩埚劈裂产生的应力大于三瓣坩埚受到的应力时,三瓣坩埚就会开裂,这也是坩埚多余的底部材料会使三瓣坩埚破裂的原因。2.如果加热时间过长,应时坩埚质量不够,原料pH值不符合要求,都会导致漏硅、渗硅。熔融硅进入三瓣坩埚之间的缝隙冷却下来后,会损坏三瓣坩埚,二是使三瓣坩埚相互粘连,在清炉时可能分别导致开裂。3.在加热过程中,只有三瓣坩埚的热源来自两个方面,一是加热器的辐射,二是来自应时坩埚的传导,导致三瓣坩埚受热不均匀,受热时在某些方向膨胀,在另一些方向收缩,进而导致三瓣坩埚开裂。   

随着社会经济的发展,许多单晶硅制造商都精于石墨热场的应用,原因有二:

正面和石墨毡保温效果好,厚度达到100mm,有效保证了径向梯度温度可能较小的情况。

二、热量长的原因是石墨坩埚厚度达到250mm,可以扎样品,所以上中下保温筒的口径会足够大,有足够的纵向散热功能。众所周知,石墨坩埚操作方法存在的问题会导致石墨坩埚操作时间的减少,进而增加生产厂家自身的资本。有了制造石墨坩埚和热场工件的历史,再来说说石墨热场生产中常见的问题,以及我们应该如何处理。


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